Вольфрам филаментин сканерлеп жаткан электрондук микроскоп, Эко. SEM, 15x ~ 250000x
Продукциянын сүрөттөлүшү
A63.7062 Вольфрам Филаменти Электрондук микроскопту сканерлөө, Eco. SEM | ||
Чечим | 4.5nm@30KV (SE); 6нм @ 30KV (BSE) | |
Чоңойтуу | Терс чоңойтуу: 15x ~ 250000x; Экранды чоңойтуу: 30x ~ 500000x | |
Electron Gun | Вольфрамды жылытуучу катодго чейинки борборлоштурулган вольфрам филаменттик картридж | |
Чыңалууну тездетүү | 0 ~ 30KV | |
Линза тутуму | Үч деңгээлдүү электромагниттик линза (конус линза) | |
Объективдүү диафрагма | Молибден диафрагмасы жөнгө салынуучу сыртындагы вакуум системасы | |
Үлгү этабы | Беш октун этабы | |
Travel Range | X (Авто) | 0 ~ 50mm |
Y (Авто) | 0 ~ 50mm | |
Z (Кол менен) | 0 ~ 25mm | |
R (Кол менен) | 360o | |
T (Кол менен) | -5o ~ 90o | |
Максималдуу үлгүнүн диаметри | 150мм | |
Detector | SE: Жогорку вакуумдуу экинчи электрондук детектор (Детекторду коргоо менен) | |
Өзгөртүү | Stage Upgrade; EBL; STM; AFM; Жылытуу этабы; Крио этап; Чыңалуу баскычы; Микро-нано манипулятор; SEM + Каптоочу машина; SEM + Лазер | |
Аксессуарлар | CCD, LaB6, рентгендик детектор (EDS), EBSD, CL, WDS, каптоочу машина | |
Вакуум системасы | Турбо молекулярдык насостор; Айлантуу насосу | |
Электрондук нур ток | 10pA ~ 0.1 |
Билдирүүңүздү ушул жерге жазып, бизге жөнөтүңүз